シリコンウエハをドライエッチングする工程で利用されるドライエッチング装置の部品(オレンジ色部分)に溶射が適用
されています。耐プラズマエロージョン目的や、ウエハを吸着する静電チャックへの電気特性の付与など様々な目的
で溶射が活躍されています。